制备超纯水是通过一系列纯化技术的结合实现的。纯化过程中的每一步骤都力求优化，以便（有针对性的）去除不同类型的杂质，甚至包括非常不常见的特殊物质。

超纯水设备系统有3个单元：初始纯化系统、储存容器和精制系统。初始纯化系统可以将井水或自来水纯化。在此环节，可以使用去去离子技术、蒸馏技术或者反渗透技术。蒸馏可以虽然可以有效去除很多类型的杂质，但能耗太大且生产速度慢，需要在使用前长时间的贮存，这就难以保证水质了。去离子技术看似一个简单和成本低的方法，但是水质不稳定，当去离子树脂饱和时会发生波动。该技术主要用于去除离子，而对其他污染物，例如有机物及微小颗粒，则效率较低。这两种水纯化技术提供的水，经过进一步的精制去除残留的痕量污染物以后，能满足许多应用。

　　但是初始纯化技术不过硬，不仅会使精制步骤中出现水质量问题，而且会缩短超纯水器的使用寿命。本研究主要显示了不同的预处理方法对制备超纯水质量的影响。逐个分析了纯化组件对污染物不同的作用。

　　自来水给水通过两种不同的预处理系统处理后,由某超纯水设备系统进行精制：

①系统由通过去离子柱纯化的水供水（5升体积的混床去离子树脂）。当与水处理系统出水的电阻率低于1MΩ?cm.时，用再生树脂更换去离子柱填料。

②系统由供水，结合反渗透技术和EDI连续电流去离子技术，同时预处理水储存在一个60升体积的储备容器中。

1.方法

　　流速调到1.5升/分钟。每天可以供水60升，每个系统都通过一个A-100PSETOC监测器（Anatel?）测量水的电阻率和TOC（总有机碳）。供水的TOC也同时被监控。取水点在图1中标出。

　　EDI水的电阻率跟预期的一样，起初高达18MΩ?cm。然而，在处理了500升水之后，可以看到电阻率显著下降。在这种情况下，即便用再生离子树脂更换了去离子柱，较高的电阻率值依然不能恢复，只能恢复到约15MΩ?cm。

　　这表明：去离子法的水质会由于去离子树脂的再生处理而剧烈波动。另一方面，结合了反渗透技术和连续电流去离子技术的系统，能持续产生15MΩ?cm电阻率的水。由于其流速较低，这些水在向精制系统供水之前，必须储存在一个容器中。这会引起储存水电阻率的降低，主要是由于二氧化碳的作用。

　　虽然两种水纯化生产线在离子纯化方面都获得很好的结果，但是在TOC质量上还是存在显著差异。首先，当通过去离子树脂纯化时，供水TOC存在很大的变化。如图3所示，去离子纯水TOC不稳定，在100～550ppb之间波动，当装上新的再生树脂时，会高达640ppb。另一方面，RO（反渗透技术）/EDI（连续电流去离子技术）结合的Elix系统，产生的纯水TOC大多数低于50ppb，即使在容器中储存过夜，仍稳定在50ppb以下。显然后者为终端精制系统供水比去离子柱量更加稳定。终端产水的TOC也因此而显著不同。图4显示了终端精制系统A和B产生的超纯水TOC变化。在整个实验过程中，系统A的TOC始终高于系统B。去离子水作入水的系统A，产水TOC高，并在50～150ppb之间波动。由Elix供水的B系统，TOC恒定在10ppb左右。TOC高是由于机器停机，出水口处存水过夜积累了有机物污染物造成的。一旦超纯水开始供应，就能持续获得良好恒定质量的（18.2MΩ?cm,，TOC<10ppb）。这清楚的显示出使用由反渗透和电极去离子化结合的Elix系统进行预处理的优势。

2.实验

　　本实验中，两个超纯水设备系统使用两种不同的预处理技术供水，分别是反渗透技术和去离子技术。当电阻率下降（去离子预处理系统处理500升水之后）或处理了2000升水后（对于RO给水系统）要更换精制器。此时使用S-510扫描电子显微镜（Hitachi）观察纯化装置的离子交换树脂表面和超纯水系统的终端膜过滤器表面。样品进行彻底的干燥并用金粉溅射处理，以便进行SEM（扫描电子显微镜）分析。

3.结果和讨论

　　a）新树脂，b）处理了2000升RO水的树脂，c)处理了500升去离子水的树脂。由RO给水的树脂表面的微观结构和新树脂类似，但去离子水供水的树脂结构很不容易观察，表面完全被污垢和微粒覆盖。

　　这种现象是离子交换过程和树脂表面吸附机理共同作用的结果。虽然其中有些带电物质可能通过离子交换作用扩散进入树脂的深处，但这受限于该物质颗粒的大小、分子质量和极性。这些表面污垢会阻塞离子运输通道，减小离子交换速度，从而引起水质下降，降低电阻率。在污垢的影响下，即使能够保证供水离子浓度极低，树脂也会在离子交换能力没有耗尽的情况下失去作用。在阳离子交换树脂表面没有观察到这种包被物。这表明污染物带负电，例如在天然水源中常见的有机物或胶质物2。

　　在过滤器上除了观察到几个微小颗粒外，没有观察到其他任何东西。在图6b去离子供水系统图像中，膜表面完全被物质塞满。干燥后在膜表面清晰的看到有一个破裂的包被层。这显示是有机物或胶质物，通过去离子纯化技术不能有效的将其去除，而且可能将下游水纯化系统的过滤器阻塞。这可能引发压力下降，限制终端产水的流速，而且会滋生细菌和生物薄膜。

4.结论

　　综述，要想强化超纯水的制备，必须结合一系列技术。以电阻率为指标监测超纯水离子含量非常有效，但其他如有机物这样的污染物并不适合用电阻率进行监测。这些污染物同样会显著地影响实验成功和可靠性。通过比较不同预处理手段的供水对超纯水设备系统效能的影响，可以很容易的确证这种作用。

　　无论是去离子水还是反渗透和连续电流去离子技术联用供水，都能让终端系统产生高电阻率的水，但两者的终端产水TOC水平显著不同。在去离子设备中，由于树脂再生使用，产水的有机污染物水平变化很大。由于这种预处理手段去除有机物效果较差，会引起终端精制系统中阴离子树脂被有机污染物包被，导致介质过早耗尽，并使终端过滤器堵塞。实验室用超纯水设备系统，强烈建议配RO/EDI作为供水系统，这要优于DI。这将减少供给水中的TOC变化，并确保恒定的离子浓度和有机物浓度。为了检查获得的超纯水是否适用于所有实验室使用，在使用时监测水的TOC水平与电阻率同等重要。

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